苏企助力高端电子显微技术自主化进程

重大关键技术突破！苏企助力高端电子显微技术自主化进程

近日，苏州博众仪器科技有限公司成功研发出具有国际领先水平的热场发射电子源。该产品可以用于电子显微设备和电子束光刻设备等领域，标志着中国在热场发射电子源方面实现了国产化替代，为高端电子显微技术自主化进程提供了强大助力。同时，其作为电子束的共性基础元件，也将对发展电子束相关设备，如发展电子束光刻机等设备奠定坚实基础。目前，该产品已取得相关发明专利。

该热场发射电子源性能卓越，针尖曲率半径精准控制在 400-900nm 之间，角电流密度达200-500uA/Sr，在 200kV高压下，亮度可达 6.5x108-1.5x109A/(c㎡·Sr)，能在1700-1850K 的温度环境下稳定工作。其不仅性能媲美国际顶尖产品，在性价比上更是优势凸显。目前，该产品已作为成熟产品对外销售，进入量产阶段，并可提供定制化服务。

长期以来，电子显微镜市场，尤其是高端扫描电子显微镜、透射电子显微镜等领域，一直被美国的赛默飞、日本的日本电子和日立等企业牢牢把控。电子源作为电子显微镜的核心部件，技术门槛极高、研制难度巨大，一直是国产电子显微镜发展的瓶颈。而在各类电子源中，热场发射电子源应用最为广泛，其亮度远超钨灯丝和 LaB6 灯丝，且具有更小的能量分散和光斑直径。但此前只有赛默飞、日本电子、日立、DENKA 和 YPS 等国外公司拥有成熟产品，国内企业不仅面临采购周期长、成本高的问题，更在核心技术上无法自主可控。

热场发射电子源作为透射电镜的核心部件，自博众仪器科技公司成立之初就开始研制，历经 3年多，团队终于突破关键技术难题，成功研制出性能稳定、性价比更高的热场发射电子源。除透射电子显微镜外，本次发布的热场发射电子源还可应用于扫描电子显微镜、聚焦离子束、电子束光刻设备、CD-SEM等电子束相关设备，可应用领域包含高校院所、微纳尺度表征、半导体工业等。

未来，博众仪器还将持续发力，以完成透射电子显微镜的完全国产化研发和制造为目标，陆续推出应用于高端仪器设备领域的超高稳定电源等核心产品，为我国高端仪器设备行业的蓬勃发展贡献力量。（苏报融媒记者 韩丽媛 实习生 陈雨欣）